薄膜鐵電性能綜合測試儀

FETS-2000b薄膜鐵電性能綜合測試儀具有動態電滯回線(DHM)、I-V特性、脈沖(PUND)、靜態電滯回線(SHM)、疲勞(FM)、漏電流(LM)、電流-偏壓、保持力(RM)、印跡(IM)的測試功能.，可廣泛地應用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執行器/存儲器等領域的研究。

FETS-2000b薄膜鐵電性能綜合測試儀與探針臺配套使用，可實現薄膜的鐵電性能測試。動態電滯回線測試頻率和激勵測試電源，用戶可根據需要進行選擇，動態電滯回線測試頻率范圍為1mHz～500kHz可選，激勵測試電源±10/30/100/200/500VAC可選，也可根據用戶需要進行定制。

本測試系統由主控器、探針臺、計算機及系統軟件部分組成。主控器集成了內置激勵測試電源、電荷積分器、可編程放大器、模數轉換器、通訊總線等功能，系統軟件包括可視化數據采集和管理功能，測試時，無需改變測試樣品的連接，即可實現滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本測試系統鐵電性能測試采用改進的Sawyer- Tower測量方法，與傳統的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環節，容易定標和校準，并且能實現較高的測量準確度。

本系統提供外接高壓放大器的接口，對于需要做高壓測試、高壓漏電流測試 的用戶，可直接擴展此功能。

用戶選擇此款設備，需向廠家提供測試頻率、激勵測試電壓等要求。

測試功能：

• 動態電滯回線(DHM)

• I-V特性

• 脈沖(PUND)

• 靜態電滯回線(SHM)

• 疲勞(FM)

• 漏電流(LM)

• 電流-偏壓

• 保持力(RM)

• 印跡(IM)

可擴展部件：

• 探針臺